Ешманова ГБ, Смагулов ДУ. ВЛИЯНИЕ ЧАСТИЦ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ НА ФОРМИРОВАНИЕ И СОСТАВ ПЭО ПОКРЫТИЙ. Academic Journal of Physical and Chemical Sciences [Интернет]. 30 сентябрь 2026 г. [цитируется по 2 октябрь 2026 г.];(3):517–537. доступно на: https://journals.nauka-nanrk.kz/reports-science/article/view/9005