ЕШМАНОВА, Г. Б.; СМАГУЛОВ, Д. У. ВЛИЯНИЕ ЧАСТИЦ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ НА ФОРМИРОВАНИЕ И СОСТАВ ПЭО ПОКРЫТИЙ. Academic Journal of Physical and Chemical Sciences, [S. l.], n. 3, p. 517–537, 2026. DOI: 10.32014/2026.2518-1483.490. Disponível em: https://journals.nauka-nanrk.kz/reports-science/article/view/9005. Acesso em: 2 окт. 2026.