Ешманова, Г. Б., & Смагулов, Д. У. (2026). ВЛИЯНИЕ ЧАСТИЦ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ НА ФОРМИРОВАНИЕ И СОСТАВ ПЭО ПОКРЫТИЙ. Academic Journal of Physical and Chemical Sciences, (3), 517–537. https://doi.org/10.32014/2026.2518-1483.490